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目录:武汉颐光科技有限公司>>FTIR系列>>IRE200>> IRE-200 膜厚测试仪

IRE-200 膜厚测试仪
  • IRE-200 膜厚测试仪
参考价900000-1500000/台
具体成交价以合同协议为准

参考价:?900000 ~ ?1500000

具体成交价以合同协议为准
  • 颐光科技 品牌
  • 型号
  • 生产商 厂商性质
  • 武汉市 所在地

更新时间:2025-04-27 16:11:29浏览次数:2796评价

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产地类别 国产 价格区间 面议
应用领域 电子/电池,航空航天,电气
光学薄膜测厚仪,IRE-200是一款超高精度的外延层厚度测量设备,利用红外光谱经傅里叶变换进行快速分析,主要应用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各类外延片的外延层厚度测量。

 

一、概述

IRE-200光学薄膜测厚仪是一款超高精度的外延层厚度测量设备,利用红外光谱经傅里叶变换进行快速分析,主要应用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各类外延片的外延层厚度测量。

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■ 单抛/双抛等多种模式选择支持;

■ 自定义mapping功能;

■ 高检测速率:Si标准外延片测量25点≤3min;

■ 高检测精度:≤0.01um 。

二、产品特点

1)设备采用高性能光源模块,光源稳定性好,信噪比高,覆盖范围7800-350cm-1

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2)搭配自主研发算法软件,可精准快速地获取测量结果。

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3) 搭配自主研发的mapping运动台,定位精准、测量速度快。

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三、产品应用

 IRE-200广泛应用于半导体行业中Si、SiC、GaAs、InP、GaN等基底材料上外延层厚度的量测。

SiC EPI量测案例

      

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技术参数

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