目录:武汉颐光科技有限公司>>FTIR系列>>IRE200>> IRE-200 膜厚测试仪
参考价 | ¥900000-¥1500000 | /台 |
参考价:?900000 ~ ?1500000
更新时间:2025-04-27 16:11:29浏览次数:2796评价
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产地类别 | 国产 | 价格区间 | 面议 |
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应用领域 | 电子/电池,航空航天,电气 |
一、概述
IRE-200光学薄膜测厚仪是一款超高精度的外延层厚度测量设备,利用红外光谱经傅里叶变换进行快速分析,主要应用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各类外延片的外延层厚度测量。
■ 单抛/双抛等多种模式选择支持;
■ 自定义mapping功能;
■ 高检测速率:Si标准外延片测量25点≤3min;
■ 高检测精度:≤0.01um 。
二、产品特点
1)设备采用高性能光源模块,光源稳定性好,信噪比高,覆盖范围7800-350cm-1。
2)搭配自主研发算法软件,可精准快速地获取测量结果。
3) 搭配自主研发的mapping运动台,定位精准、测量速度快。
三、产品应用
IRE-200广泛应用于半导体行业中Si、SiC、GaAs、InP、GaN等基底材料上外延层厚度的量测。
SiC EPI量测案例
技术参数