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产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
---|---|---|---|
应用领域 | 综合 |
侧重便携性与快速筛查,适用于常规单层膜厚测量,但精度与功能扩展性不及OPTM系列。
OPTM适用于研发(R&D)与高精度QC,如半导体晶圆、光学滤光片;Smart膜厚仪更适合产线快速抽检
日本Otsuka大塚Smart膜厚仪光学分析专家-成都藤田科技提供
Smart膜厚仪 vs OPTM显微分光膜厚仪——革新光学测量的双引擎
核心对比与OPTM优势:
技术差异化:
OPTM系列:基于分光干涉法,结合显微光学系统,实现反射率分析,支持超薄膜(1nm)与复杂多层结构,技术解决透明基板干扰。
Smart膜厚仪:侧重便携性与快速筛查,适用于常规单层膜厚测量,但精度与功能扩展性不及OPTM系列。
应用场景:
OPTM适用于研发(R&D)与高精度QC,如半导体晶圆、光学滤光片;Smart膜厚仪更适合产线快速抽检。
性价比优势:OPTM以中型设备成本提供媲美椭偏仪的精度,且操作门槛更低,软件内置NIST校准追溯,确保数据可靠性。
产品信息
特点
● 可携带至现场的手持式
● 可测量0.1μm单位
● 具有形状的样品也可非破坏的测量
● 不论基材材质、可测量其镀膜
测量项目
膜厚测量范围 | 1μm~50μm |
测量重复性 | 0.01μm |
测量时间 | 1秒以下 |
Smart手持式膜厚仪与其他膜厚仪的比较
与桌上型光学膜厚仪相比,Smart膜厚仪在“现场"以非破坏式直接量测样品,且可以量测特殊形状样品。
与接触式膜厚仪相比,Smart膜厚仪不仅不会破坏您的样品,也不会因为用户不同而产生误差且远高于接触式膜厚计的量测精度。
与涡电流/电磁式膜厚仪相比,Smart膜厚仪不需要制作检量线,且可以量测非金属基材并且得到值!
日本Otsuka大塚Smart膜厚仪光学分析专家-成都藤田科技提供