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成都藤田科技有限公司
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产品简介
| 产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 |
MINUK可评价nｍ级的透明的异物?缺陷，一次拍照即可瞬时获得深度方向的信息，可非破坏?非接触?非侵入的进行测量。且无需对焦，可在任意的面进行高速扫描,轻松决定测量位置。
产品介绍
日本Otsuka大塚OPTM series显微分光膜厚仪-成都藤田科技提供
● 非接触、非破坏式，量测头可自由集成在客户系统内
● 初学者也能轻松解析建模的初学者解析模式
● 高精度、高再现性量测紫外到近红外波段内的反射率，可分析多层薄膜厚度、光学常数（n：折射率、k：消光系数）
● 单点对焦加量测在1秒内完成
● 显微分光下广范围的光学系统（紫外 ~ 近红外）
● 独立测试头对应各种inline定制化需求
● 最小对应spot约3μm
● 可针对超薄膜解析nk
量测项目
● 反射率分析
● 多层膜解析（50层）
● 光学常数（n：折射率、k：消光系数）
膜或者玻璃等透明基板样品，受基板内部反射的影响，无法正确测量。OPTM系列使用物镜，可以物理去除内部反射，即使是透明基板也可以实现高精度测量。此外，对具有光学异向性的膜或SiC等样品，也可不受其影响，单独测量上面的膜。
应用范围
● 半导体、复合半导体：硅半导体、碳化硅半导体、砷化镓半导体、光刻胶、介电常数材料
● FPD：LCD、TFT、OLED（有机EL）
● 资料储存：DVD、磁头薄膜、磁性材料
● 光学材料：滤光片、抗反射膜
● 平面显示器：液晶显示器、薄膜晶体管、OLED
● 薄膜：AR膜、HC膜、PET膜等
● 其它：建筑用材料、胶水、DLC等
规格式样
（自动XY平台型）
OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 | |
|---|---|---|---|
波长范围 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm |
膜厚范围 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm |
测定时间 | 1秒 / 1点以内 | ||
光径大小 | 10μm (最小约3μm) | ||
感光元件 | CCD | InGaAs | |
光源规格 | 氘灯 卤素灯 | 卤素灯 | |
尺寸 | 556(W) X 566(D) X 618(H) mm (自动XY平台型的主体部分) | ||
重量 | 66kg（自动XY平台型的主体部分） | ||
量测案例
半导体行业 - SiO2、SiN膜厚测定案例
FPD行业 - 彩色光阻膜厚测定
FPD行业 – 用倾斜模式解析ITO构造
日本Otsuka大塚OPTM series显微分光膜厚仪-成都藤田科技提供
