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成都藤田科技有限公司
中级会员·1年您现在的位置： 成都藤田科技有限公司>>日本大塚Otsuka>> 日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式检测仪
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- 马经理
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- 19938139269,18284451551
- 地址：
- 中国四川省成都市郫都区创智东二路58号绿地银座A座1118
- 个性化：
- www.fujita-cd.cn
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产品简介
| 产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 |
产品信息 特 长 薄膜到厚膜的测量范围、UV~NIR光谱分析 高性能的低价光学薄膜量测仪 藉由反射率光谱分析膜厚 完整继承FE-3000机种90%的强大功能 无复杂设定，操作简单，短時...
产品介绍
日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式检测仪-成都藤田科技提供
产品信息
特 点
● 采用分光干涉法
● 搭载高精度FFT膜厚解析系统（第4834847号）
● 使用光学光纤，可灵活构筑测量系统
● 可嵌入至各种制造设备。
● 实时测量膜厚
● 可对应远程操作、多点测量
● 采用寿命长、安全性高的白色LED光源
测量项目
多层膜厚解析
用 途
光学薄膜（超硬涂层、AR薄膜、ITO等）
FPD相关（光刻胶、SOI、SiO2等）
设备构成
单点型
半导体晶圆的面内分布测量
玻璃基板的面内分布测量
多点型
实时测量
流向品质管理
真空室适用
导线型
实时测量
宽度方向品质管理
测量案例
超硬涂层的膜厚解析
设备构成
单点型
半导体晶圆的面内分布测量
玻璃基板的面内分布测量
多点型
实时测量
流向品质管理
真空室适用
导线型
实时测量
宽度方向品质管理
测量案例
超硬涂层的膜厚解析
核心特点：
微区测量能力：最小光斑直径3μm，搭配自动XY平台（200×200mm），实现晶圆、FPD（如OLED、ITO膜）等微小区域的精准厚度分布映射。
跨行业适用性：专为半导体（SiO?/SiN膜）、显示面板（彩色光阻）、DLC涂层等行业设计，支持粗糙表面、倾斜结构及复杂光学异向性样品的分析。
安全与扩展性：区域传感器触发防误触机制，独立测量头支持定制化嵌入，满足在线检测（inline）与实验室研发需求。
日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式检测仪-成都藤田科技提供
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