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成都藤田科技有限公司
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- 个性化：
- www.fujita-cd.cn
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产品简介
| 产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 |
采用线扫描方式检测整面薄膜 硬件软件均为创新设计 作为专业膜厚测定厂商，提供多种支援 实现高精度测量实现高速测量 不受偏差影响 可对应宽幅样...
产品介绍
日本Otsuka大塚 薄膜离线型扫描膜厚仪-成都藤田科技提供
产品信息
特点
● 全面高速高精度进行薄膜等面内膜厚不均一性检测
● 硬件&软件均为创新设计
● 作为专业膜厚测定厂商，提供多种支援
● 实现高精度测量
● 实现高速测量（500万点以上/分）
产品规格
| 测量范围 | 0.1～300 μm |
| 测量宽度 | 250 mm |
| 测量间隔 | 1 ms～ |
| 设备尺寸(W×D×H) | 459×609×927 mm |
| 重量 | 60 kg |
| 功耗 | AC100 V±10% 125 VA |
测量例
250mm宽的薄膜案例
核心特点：
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微区测量能力：最小光斑直径3μm，搭配自动XY平台（200×200mm），实现晶圆、FPD（如OLED、ITO膜）等微小区域的精准厚度分布映射。
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跨行业适用性：专为半导体（SiO?/SiN膜）、显示面板（彩色光阻）、DLC涂层等行业设计，支持粗糙表面、倾斜结构及复杂光学异向性样品的分析。
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安全与扩展性：区域传感器触发防误触机制，独立测量头支持定制化嵌入，满足在线检测（inline）与实验室研发需求。
日本Otsuka大塚 薄膜离线型扫描膜厚仪-成都藤田科技提供
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非破坏性高速测量：采用显微分光技术，1秒内完成单点对焦与测量，支持从紫外（230nm）到近红外（1600nm）广波长范围，覆盖1nm至92μm膜厚需求，满足半导体、光学材料等高精度场景。
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透明基板技术：反射对物镜设计，物理消除基板内部反射干扰，实现玻璃、SiC等透明或异向性基板上的高精度膜厚测量，支持50层以上多层膜解析。
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智能建模与易用性：内置初学者模式，简化光学常数（n/k）建模流程，支持宏功能自定义测量序列，可无缝集成自动化产线。
