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成都藤田科技有限公司
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产品简介
| 产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 |
用显微微分光膜厚计OPTM series的高精度、微小光点，在线提供制作晶片图案后的微小区域测量等膜厚信息。...
产品介绍
日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚仪成都藤田科技提供
OPTM series 嵌入型
产品信息
特 点
● 膜厚测量范围1nm～92μm（换算为SiO2）
● 膜厚值高重复精度
● 1点1秒以内的高速测量
● 最小小点Φ3μm）中瞄准模式
● 适合图案晶片的膜厚映射
● 能够取得图案对准用图像
装置组装示意图
测量数据示意图
测量光点周边图像
适应过程示例
CMP工艺
蚀刻工艺
成膜工艺等
产品规格
核心对比与OPTM优势：
技术差异化：
OPTM系列：基于分光干涉法，结合显微光学系统，实现反射率分析，支持超薄膜（1nm）与复杂多层结构，技术解决透明基板干扰。
Smart膜厚仪：侧重便携性与快速筛查，适用于常规单层膜厚测量，但精度与功能扩展性不及OPTM系列。
应用场景：
OPTM适用于研发（R&D）与高精度QC，如半导体晶圆、光学滤光片；Smart膜厚仪更适合产线快速抽检。
性价比优势：OPTM以中型设备成本提供媲美椭偏仪的精度，且操作门槛更低，软件内置NIST校准追溯，确保数据可靠性。
微区测量能力：最小光斑直径3μm，搭配自动XY平台（200×200mm），实现晶圆、FPD（如OLED、ITO膜）等
微小区域的精准厚度分布映射。
跨行业适用性：专为半导体（SiO?/SiN膜）、显示面板（彩色光阻）、DLC涂层等行业设计，支持粗糙表面、倾斜结构及复杂光学异向性样品的分析。
安全与扩展性：区域传感器触发防误触机制，独立测量头支持定制化嵌入，满足在线检测（inline）与实验室研发需求。
日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚仪成都藤田科技提供
