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产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
---|---|---|---|
应用领域 | 综合 |
产品信息 特殊长度 可以高速、高精度地测量各种玻璃基板上各种薄膜的膜厚和光学常数。 除了支持包括下一代尺寸在内的大型玻璃基板外,它还支持 LCD、TFT 和有机 EL。 用法 LCD ITO...
日本Otsuka大塚FE-3700高精度膜厚测量系统-成都藤田科技提供
产品信息
特殊长度
可以高速、高精度地测量各种玻璃基板上各种薄膜的膜厚和光学常数。除了支持包括下一代尺寸在内的大型玻璃基板外,它还支持 LCD、TFT 和有机 EL。
用法
LCD
ITO / Glass, PI / OC / Glass, CF / Glass, Resist / Glass
TFT
SiN / a-Si / 玻璃
有机EL
有机EL / ITO / 玻璃
PDP
介电层/玻璃
核心特点:
超大基板全覆盖:专为下一代尺寸玻璃基板设计(支持超长/超宽规格),可高效测量LCD、TFT、有机EL等大型面板,兼容PI、ITO、SiN、介电层等复杂膜层结构。
纳米级精度与秒级速度:采用分光干涉+AI算法技术,单点测量时间<1秒,膜厚精度±0.1nm,光学常数(n/k)解析<0.5%,满足量产级质量控制需求。
全场景适配性:从研发实验室到自动化产线,支持在线(inline)集成,可定制XYZ多轴平台,实现基板全域厚度分布映射与缺陷快速筛查。
高速量产优化:每小时可检测超3000点,支持多探头并行测量,大幅提升玻璃基板(如G8/G10)产线效率,降低设备综合成本(CoO)。
超薄与超厚膜通吃:量程覆盖1nm至200μm,适用于OC(光学胶)、Resist(光刻胶)等软膜与硬质涂层的精准厚度控制。
低维护:非接触式测量设计,无探针损耗,长期使用稳定性达99.8%,搭配远程诊断功能,减少停机风险。
日本Otsuka大塚FE-3700高精度膜厚测量系统-成都藤田科技提供