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C60-40离子束
C60-40是目前性能最高的C60光束,具有300纳米的光斑尺寸和高达1毫安的束流。
从生物医学应用到聚合物科学和冶金,C60-40都可以做到这一点。得益于与其他C60离子束相同的均匀溅射,但由于更高的束能量,C60-40具有难以置信的精细斑点和更高的蚀刻率,是一种用于广泛应用的极其强大的分析工具。
C60-40是一款出色的全能型产品,Ionoptika销售的每台J105SIMS仪器中都包含C60-40。
Applications
下图显示了C60-40在正离子模式下获得的半导体堆栈的3DSIMS图像。样品由InSb、Al和GaAs层组成,覆盖在保护性光
刻胶层中。
这种软有机、无机和硬金属层的结合对于大多数其他离子束来说是极其困难的。C60-40是这一棘手应用的理想选择,因
为它在不同材料上具有一致的溅射速率。C60-40与300nm的光斑尺寸相结合,是一种强大的光束,无论您使用何种类型
的样品,都能在2D和3D中提供最高分辨率。
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