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C60-20S离子束

C60-20S离子束
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品       牌IONOPTIKA

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更新时间：2025-07-14 16:18:22浏览次数：22次

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C60-20S离子束
C60-20S是一种高性能离子束，设计用于溅射表面，具有最小的损伤和减少的沿周溅射效应。
C60-20S在高达20kV的电压下工作，可有效地溅射材料，且损伤最小，无需重新沉积碳。
C60是XPS、AES和SIMS的理想升级组件，可在多种材料上均匀溅射。

详情介绍

C60-20S离子束


C60-20S是一种高性能离子束，设计用于溅射表面，具有最小的损伤和减少的沿周溅射效应。

C60-20S在高达20kV的电压下工作，可有效地溅射材料，且损伤最小，无需重新沉积碳。

C60是XPS、AES和SIMS的理想升级组件，可在多种材料上均匀溅射。


Applications

聚合物的高速、低化学损伤蚀刻。

C60离子溅射的速度比单原子束(包括氩和氙)快50倍，同时对底层材料造成的损害要小得多。

下图比较了15kev的C60溅射产率与15kev金、氙镓和氩的TRIM数据。在相反的例子中，用C60和单原子氩离子束溅

射清洗PTFE薄膜。

虽然两种离子束都去除了表面污染，但只有C60离子束的表面化学性质没有发生变化。


C60-20S离子束

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