一、产品概述

颐光科技椭偏检测机台作为一种小型椭偏集成机台，通过整体高度模块化，电、气路集成技术，实现不同椭偏测量模块在线/离线式整体椭偏测量解决方案。

二、产品特点

■ 支持实验室研究整体椭偏集成控制测量技术；

■ 支持产线大基片离线自定义多点扫描测量并输出报告；

■ 支持多椭偏方案，多组合集成

■ 支持测头模块以及样件机台定制化

三、应用场景 

应用于科学研究中各种各向同性，异性薄膜材料的膜厚、光学常数以及一维、二维纳米光栅的结构表征；工业领域新型光电器件行业所涉及的薄膜（配向膜、光刻胶、ITO、发光薄膜、封装薄膜）全片离线化快速扫描测量。

参考设计方案 

高度整合椭偏技术方案

技术参数