椭圆偏光仪针对LCD、OLED等新型平板显示量产中所涉及的PI配向膜、光刻胶薄膜、ITO薄膜、有机发光薄膜、有机/无机封装薄膜等质量控制需要，专门设计的在线薄膜测量系统。椭偏在线监测装备可适用于空气、N2、真空等环境条件，自动实现玻璃基板上各种膜系结构厚度分布、光学常数分布。
它可以通过检测光线的电场振动方向和相位差来确定光线的偏振状态，包括线偏振、圆偏振和椭偏振。主要由源、样品、分析器和检测器等组成。当光线经过样品后，会发生偏振状态的变化，这时候通过旋转分析器的角度来改变检测器的接收光信号，并记录下每个角度下的信号强度。对信号进行数学处理，就可以得到样品对光线的偏振状态造成的影响。
椭圆偏光仪由以下几部分组成：
光源：通常使用白炽灯或钠灯作为光源。这些光源可以发出连续谱或某个特定波长的单色光。
偏振器：偏振器可以将非偏振或线偏振的光转化为具有确定偏振方向的偏振光。
样品架：样品架是用来放置待测样品的位置。在偏光仪中，可以使用平板玻璃、晶体、薄膜等不同类型的样品。
旋转器：旋转器是用来改变样品在空间中的角度。通过测量样品沿两个轴的旋转角度，可以得到样品的折射率、厚度等信息。
分析器：分析器是另一个偏振器，用于检测样品对光的旋转和线偏振状态的影响。
探测器：探测器是用来测量样品对光的吸收率和旋光率的。在不同的偏光仪中，使用的探测器也不同，有些使用电子倍增管，有些则使用像素阵列。
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