一、概述

SE-Vi 是一款集成式原位光谱椭偏仪，针对有机/无机镀 膜工艺研究的需要开发的原位薄膜在线监测中的定制化 开发，快速实现光学薄膜原位表征分析。

二、测试案例

成膜工艺监控

膜厚表征

三、产品应用

广泛应用于金属薄膜、有机薄膜、无机薄膜的物理/化学气相沉积，ALD沉积等光学薄膜工艺过程中实际原位在线监测并实时反馈测量物性数据。

技术参数

武汉颐光科技有限公司(Wuhan eoptics Technology Co., Ltd.)是国内专业从事椭偏仪以及光学纳米测量设备研发、制造与销售的高新技术企业，公司由多位具有二十多年偏振光学测量经验的专家联合创办，与华中科技大学紧密合作，是国内椭偏光学仪器领域颇具优势的技术团队。

公司注册于武汉东湖国家自主创新示范区，立足光谷，面向全球，为科研和工业用户提供仪器、软件、服务等综合解决方案。

产品广泛应用于集成电路、半导体、光伏太阳能、平板显示、LED照明、存储、生物、医药、化学、电化学、光学镀膜、光刻材料等众多领域。